Хагас дамжуулагч вафли үйлдвэрлэхэд литографийн процесс нь чипийн гарцыг тодорхойлдог чухал, нарийвчлалтай алхам юм. Вафли үйлдвэрлэх процессын "өртөлт ба дүрслэлийн гол цөм" болох литографи нь эргэлтийн бүрэлт, өртөлт, хөгжүүлэлт, сийлбэр, нойтон цэвэрлэгээ зэрэг бүхэл бүтэн ажлын урсгалыг хамардаг бөгөөд хүрээлэн буй орчны цэвэр байдал, хольцын хяналт, электростатик хамгаалалт, химийн эсэргүүцэлд маш хатуу шаардлага тавьдаг. Микрон түвшний тоосны хэсгүүд, ул мөр ионы шилжилт хөдөлгөөн, түр зуурын электростатик цэнэг алдалт нь бүгд фоторезистийн согог, хэв маягийн буруу тохируулга, вафлины исэлдэлт, хэлхээнд бичил богино холболт үүсгэж, бүхэл вафлиг хаяхад хүргэж, үйлдвэрлэлийн асар их алдагдалд хүргэдэг. Олон FAB нь фотолитографийн процессын гарцыг сайжруулахын төлөө тэмцдэг. Тоног төхөөрөмж, процесс, хүрээлэн буй орчны параметрүүд бүгд эмх цэгцтэй байсан ч саад тотгор нь ихэвчлэн гар хамгаалах бага зэргийн хэрэглээний материалд байдаг. Энгийн 1000 ангиллын эсвэл үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн цэвэр өрөөний бээлий нь фотолитографийн процессын хэт өндөр стандартад бүрэн тохиромжгүй байдаг.
Литографийн процесст ердийн цэвэр өрөөний бээлий хэрэглэхийг яагаад хатуу хориглодог вэ?
Нунтаг үлдэгдэл нь фоторезистийн бохирдол үүсгэдэг
Илүүдэл хүхэр ба хлоридын ионууд нь вафли дээрх хэлхээг зэврүүлдэг
Статик цахилгаан хяналтаас гарч, нарийвчлалтай фотолитографийн вафли эвдэрсэн
Үйлдвэрлэлийн процесст гадны биетийн согог үүсэхэд хүргэдэг хальслах, урсах
LjieClean 100 ангиллын нунтаггүй нитрил бээлий
Suzhou Leader компани нь хагас дамжуулагч вафли үйлдвэрлэлийн салбарт анхаарлаа хандуулж, литографийн процессын бэрхшээлтэй асуудлуудыг шийдвэрлэхийн зэрэгцээ бид вафли литографийн бүх үйл явцын үйлдвэрлэлийн шаардлагыг төгс хангасан 100-р зэрэглэлийн нунтаггүй, бага хий ялгаруулдаг нитрил бээлийг боловсруулсан бөгөөд энэ нь олон тооны үйлдвэр, вафли сав баглаа боодол, туршилтын компаниудын хамгийн тохиромжтой хамгаалалтын хэрэглээний материал болсон.
1. Дихлорид дээр суурилсан нунтаггүй процесс: Фотолитографийн процесст нунтаг бохирдол үүсэхгүй
Хагас дамжуулагчийн хлоржуулалтын цэвэршүүлэх процессыг ашигладаг энэхүү арга нь бүхэл бүтэн процессын туршид тальк, эрдэнэ шишийн цардуул, эсвэл силикон тос зэрэг нэмэлт бодис нэмэх шаардлагагүй. Энэ нь процессын туршид жигд түрхэх боломжийг хангаж, фоторезистийг бохирдуулдаг нунтаг хэсгүүд болон силикон тосны үлдэгдлийг эх үүсвэрээс нь арилгаж, улмаар фотолитографийн процесс дахь гадны хэсгүүдийн согогийг бүрэн арилгадаг.
2. Олон үе шаттай хэт цэвэр усаар зайлах нь бага хүхэр, бага хлор, бага ионы агууламжийг бий болгодог.
Өндөр цэвэршилттэй усаар гүн зайлах олон мөчлөгийн тусламжтайгаар түүхий эдийн нэмэлт болон гадаргуугийн үлдэгдлийг зайлуулдаг. Хүхэр, хлор болон уусдаг металл ионуудын агууламжийг хатуу хянадаг тул NVR (дэгдэмхий бус үлдэгдэл) бага байдаг. Энэ нь вафлийн исэлдэлт, бүрхүүлийн зэврэлт, сийлбэрийн согог үүсэхээс сэргийлж, бээлийг 8 ба 12 инчийн вафлийн литографийн нарийн төвөгтэй процессуудтай бүрэн нийцдэг.
3 Цахилгаан статик мэдрэмтгий вафлиг хамгаалахын тулд хэвэнд оруулсан өөрчлөгдсөн ESD хамгаалалт
Түр зуурын шүршигч бүрхүүлтэй худалдаанд байдаг антистатик бээлийнээс ялгаатай нь Gonars нь нитрил суурьтай материал дээр хэвэнд нь байрлуулсан антистатик өөрчлөлтийн технологийг ашигладаг. Энэ нь гадаргуугийн тогтвортой, жигд эсэргүүцлийг хангаж, фоторезистийн эвдрэл, нарийвчлалтай вафер хэлхээнд гэмтэл учруулж болзошгүй статик хуримтлалаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд бүх үйл явцын туршид статик цахилгааныг тасралтгүй тараадаг. Энэ нь өртөх, боловсруулах зэрэг цөмийн литографийн үе шатуудад тохиромжтой.
4 Уян хатан, бариу, микрон түвшний нарийвчлалтай ажиллагаанд тохиромжтой
Бээлийний материал нь уян хатан бөгөөд гарын хэлбэрт тохирсон. Хурууны үзүүр дээр гулсдаггүй бүтэцтэй тул хөнгөн бөгөөд овор багатай тул фотолитографийн вафлитай харьцах, тоног төхөөрөмжийн алдааг олж засварлах, нарийвчлалтай үзлэг хийх зэрэг нарийн үйл ажиллагаанд тохиромжтой. Энэ нь хөдөлгөөнийг хязгааргүй болгож, гулсахаас сэргийлж, гар ажиллагаатай үед санамсаргүй овойлтоос үүдэлтэй хохирлыг үр дүнтэй багасгадаг. Нэмж дурдахад, фотолитографийн уусгагч болон зөөлөн хүчил, шүлтэд тэсвэртэй бөгөөд удаан хугацаагаар ашиглах үед ч хөгшрөлт, урагдалгүйгээр бат бөх хэвээр байна.
5
✅ Давхар давхар вакуум битүүмжилсэн савлагаа нь хоёрдогч бохирдлыг арилгана
Бэлэн бүтээгдэхүүнийг 100-р зэрэглэлийн цэвэр өрөөнд бүхэл бүтэн үйл явцын туршид давхар давхар вакуум битүүмжилсэн савлагаа ашиглан савладаг бөгөөд энэ нь хадгалах, тээвэрлэх явцад тоос шороо, чийгнээс бүрэн тусгаарладаг. Савлагааг нээхэд хоёрдогч бохирдол гарахгүй тул 100-р зэрэглэлийн литографийн цэвэр өрөөнд шууд ашиглах боломжтой.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 7-р сарын 23